摘要：同一臺離子注入機(jī)B,P離子交叉注入,殘留的磷和BF3分解產(chǎn)生的F生成50PF+,成為難控隱患。研究指出,實(shí)際注入晶圓的平均質(zhì)量數(shù),呈以目標(biāo)離子質(zhì)量數(shù)為中心的正態(tài)分布;49BF2+與50PF+因質(zhì)量數(shù)接近而存在可能的重疊分布區(qū),這是出現(xiàn)磷污染的原因;指出改善質(zhì)量分析器的控制精度,可在線調(diào)控以避免磷污染。通過比較發(fā)現(xiàn),當(dāng)質(zhì)量分析器設(shè)定為49±0.5且注入高束流達(dá)800μA時,離子注入機(jī)不能偵測到臨近目標(biāo)質(zhì)量數(shù)的雜質(zhì)離子。離子注入機(jī)經(jīng)80 h注入31P+后再交叉注入的老化實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)備,當(dāng)引弧電流達(dá)3 100μA時,電性測試發(fā)現(xiàn),質(zhì)量分析器設(shè)定為49±0.3(質(zhì)量分辨率m/Δm=169.3)的樣品無磷污染。進(jìn)一步研究了多重老化因素疊加效應(yīng),經(jīng)同樣的老化實(shí)驗(yàn)準(zhǔn)備、引弧電流為3 100μA且注入束流為800μA時,注入劑量為2.2×1015的49BF2+,當(dāng)質(zhì)量分析器嚴(yán)控為49±0.3,經(jīng)SI MS(secondaryion mass spectroscopy)分析二個樣品均未發(fā)現(xiàn)磷的高能峰。改進(jìn)質(zhì)量分析器控制設(shè)定數(shù)值的解決方案經(jīng)生產(chǎn)驗(yàn)證有效,無需Frederic Sahores(2002 IEEE)的如增加清洗頻率或分離子...