摘要：機(jī)械零件表面形成微凸起及微坑結(jié)構(gòu)在摩擦學(xué)、仿生制造等領(lǐng)域具有重要意義。微細(xì)電火花加工是一種重要的精密微細(xì)加工技術(shù),已經(jīng)成為微三維實(shí)體制造的有效手段之一。通過(guò)選用合適的切割軌跡和電參數(shù),能以電火花線(xiàn)切割微精加工多種形狀的微凸起電極,繼而以電火花成形加工出微坑結(jié)構(gòu);或者直接用電火花線(xiàn)切割加工微凸起結(jié)構(gòu)。分析了加工電參數(shù)對(duì)電極制備精度的影響及加工前后電極形狀尺寸的變化,研究了所獲微坑的幾何參數(shù)及表面形貌特性,并對(duì)微凸起、微坑以及平面結(jié)構(gòu)的摩擦磨損性能進(jìn)行了初步分析比較。