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石墨烯加工技術(shù)的研究進(jìn)展

作者:張崳; 劉光潔; 于繁華; 孫秋成; 張志勇; 李曉寧; 朱金龍 長春師范大學(xué)計算機(jī)學(xué)院; 吉林長春130032

摘要:石墨烯因其優(yōu)異的電學(xué)性質(zhì),使它成為最有可能替代硅的微電子材料。但是本征石墨烯沒有帶隙,因此如何在石墨烯中引入帶隙是石墨烯走入實際應(yīng)用的關(guān)鍵前提和當(dāng)前研究熱點。主要介紹了近些年出現(xiàn)的石墨烯加工技術(shù),包括能量束加工技術(shù)、熱驅(qū)動納米粒子切割方法、基于掃描探針顯微鏡的電場加工技術(shù)、光催化剪裁技術(shù)、基于原子力顯微鏡的機(jī)械加工技術(shù)及分子自組裝技術(shù),并分析了不同加工技術(shù)的優(yōu)缺點,并對未來石墨烯加工技術(shù)的發(fā)展進(jìn)行了展望。

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