摘要:壓電微音叉與鎢探針結(jié)合,構(gòu)成SPM(掃描探針顯微鏡)的掃描測頭。將雙測頭對稱置于微球的赤道圓截面處,構(gòu)成微球球度差動測量系統(tǒng)。通過視覺引導(dǎo)系統(tǒng)對雙測頭進行粗對準,用視頻顯微鏡對微球和測頭分別聚焦,拍攝多組照片,然后對對準圖像進行小波分析邊緣檢測及多圖像融合處理,再將圖像處理結(jié)果反饋到系統(tǒng)進行精確對準。在實際實驗中,獲得了該對準方法下微球赤道圓截面的測量結(jié)果,并分析了對準誤差對系統(tǒng)測量結(jié)果帶來的影響。
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